國產(chǎn)半導體設(shè)備龍頭公司

1 北方華創(chuàng)

北方華創(chuàng)科技集團股份有限公司是由七星電子和北京北方微 電子戰(zhàn)略重組而成。產(chǎn)品包括刻蝕設(shè)備、PVD設(shè)備、CVD設(shè) 備、氧化/擴散設(shè)備、清洗設(shè)備、新型顯示設(shè)備、氣體質(zhì)量流 量控制器等。

 在集成電路領(lǐng)域，公司自主研發(fā)的14nm等離子硅刻蝕機、 單片退火系統(tǒng)、LPCVD已成功進入集成電路主流代工廠； 28nm Hardmask PVD、Al-Pad PVD設(shè)備已率先進入國際供 應鏈體系；12英寸清洗機累計流片量已突破60萬片大關(guān)；深 硅刻蝕設(shè)備也于去年一舉告捷東南亞市場。 

 2019年，公司78%的營收來自于電子工藝裝備，20%營收來 自于電子元件。公司自2015年重組以來營收持續(xù)提升。

2 中微公司

中微半導體成立于2004年。是一家以中國為基地、面向全球 的高端半導體微觀加工設(shè)備公司，為全球集成電路和LED芯 片制造商提供極具競爭力的高端設(shè)備和高質(zhì)量的服務。中微 公司基于在半導體裝備產(chǎn)業(yè)多年耕耘積累的專業(yè)技術(shù)，涉足 半導體芯片前端制造、先進封裝、LED生產(chǎn)、MEMS制造以 及其他微觀制程的高端設(shè)備領(lǐng)域，瞄準世界科技前沿，堅持 自主創(chuàng)新。中微公司的等離子體刻蝕設(shè)備已被廣泛應用于國 際一線客戶從65納米到5納米工藝的眾多刻蝕應用。

 自上市以來，中微公司的業(yè)績穩(wěn)步增長。2016年至2019年 營收分別為6.1億元、9.7億元、16.4億元、19.5億元。2016- 2018年公司營收增速維持在50%以上，2019年公司營收增 速接近20%。

3 華卓精科

公司主營業(yè)務為光刻機雙工件臺、超精密測控裝備整機以及 關(guān)鍵部件等衍生產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)以及銷售和技術(shù)服務。公 司是國內(nèi)領(lǐng)先的集成電路制造裝備及其核心部件、精密/超精 密運動系統(tǒng)及相關(guān)技術(shù)供應商，致力于在實現(xiàn)超精密機械與 測控技術(shù)成果產(chǎn)業(yè)化的基礎(chǔ)上成為中國乃至全球卓越的精密 科技公司。2020年4月，華卓精科的科技公司與清華大學取 得了合作，攻克了國產(chǎn)光刻機研制上的一個關(guān)鍵技術(shù)-雙工 件臺，這將為國產(chǎn)光刻機的發(fā)展提供極大幫助，并有希望在 未來攻破7nm技術(shù)。

 公司主營業(yè)務收入主要來源于光刻機雙工件臺、超精密測控 裝備整機和超精密測控裝備部件三項業(yè)務，合計占主營業(yè)務 收入的比例分別為99.70%、95.81%和99.56%。

4 芯源微

沈陽芯源微電子設(shè)備股份有限公司成立于2002年，是由中 科院沈陽自動化研究所發(fā)起創(chuàng)建的國家高新技術(shù)企業(yè)，專業(yè) 從事半導體生產(chǎn)設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售與服務，致力于為 客戶提供半導體裝備與工藝整體解決方案。

 芯源微開發(fā)的涂膠機、顯影機、噴膠機、去膠機、濕法刻蝕 機、單片清洗機等產(chǎn)品廣泛應用于半導體生產(chǎn)、高端封裝、 MEMS、LED、OLED、3D-IC TSV、PV等領(lǐng)域�？蓾M足 300mm前道制程及300mm先進封裝厚膠工藝制程。

 2016年公司主要營收來源于光刻工序涂膠顯影設(shè)備。近三年， 單片濕法設(shè)備在公司營收中所占的比重持續(xù)上升，2019年光 刻工序涂膠顯影設(shè)備貢獻1.12億元營收，單片濕法設(shè)備貢獻 0.95億元營收。

5 盛美半導體

 盛美半導體1998年成立于美國，2006年成立上海子公司， 開始植根內(nèi)地。公司創(chuàng)始人、董事長兼任CEO王暉為大阪大 學半導體設(shè)備及工藝博士，國家千人專家。

 盛美半導體是全球單晶清洗設(shè)備的重要供應商，也是國內(nèi)最 大的單片清洗設(shè)備供應商。公司主要從事半導體專用設(shè)備的 研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。

 盛美半導體主要產(chǎn)品為半導體清洗設(shè)備，包括單片SAPS兆 聲波清洗設(shè)備、單片TEB0兆聲波清洗設(shè)備、單片背面清洗 設(shè)備、單片刷洗設(shè)備、槽式清洗設(shè)備和單片槽式組合清洗設(shè) 備，2019年此項營收占比84%。此外也逐漸開展半導體電鍍 設(shè)備和先進封裝濕法設(shè)備業(yè)務，產(chǎn)品線較為豐富，此兩項占 比有逐年升高的趨勢。

 公司總營業(yè)收入和凈利潤連續(xù)三年上升，2019年度營業(yè)收入 超過7.5億元，凈利潤超過1.3億元。

6 至純科技

至純科技創(chuàng)立于2000年，其業(yè)務變革經(jīng)歷了五大時期，自早 期的工程分包，到2016年后的結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)型，公司將重心轉(zhuǎn)移到 了半導體行業(yè)，并成為目標行業(yè)的領(lǐng)軍企業(yè)

 公司的主營業(yè)務主要包括高純工藝系統(tǒng)的設(shè)計、制造和安裝 調(diào)試；半導體濕法清洗設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。此外，公司 于2018年完成對波匯科技的收購，增加了光傳感光電子業(yè)務 板塊

 公司營業(yè)收入連年增長，2019年公司營業(yè)收入為9.86億元， 較去年同期增長46.34%，主要是收購波匯科技并表其光傳 感及光器件收入，以及公司半導體設(shè)備業(yè)務板塊收入所貢獻。 凈利潤除2018年輕微下滑外，總體呈上升趨勢

7 精測電子

公司成立于2006年，創(chuàng)業(yè)初期定位于液晶行業(yè)檢測設(shè)備， 2008年戰(zhàn)略調(diào)整為面板檢測中的電信號檢測領(lǐng)域，2013年 公司已經(jīng)成為國內(nèi)面板Module段電測龍頭。之后公司又進 入AOI光學檢測系統(tǒng)和面板自動化設(shè)備市場，承攬平板檢 測中前段Array和Cell工序所需檢測設(shè)備。

 2018年設(shè)立全資子公司上海精測半導體，正式進軍半導體 前道檢測設(shè)備市場。以橢圓偏振技術(shù)為核心開發(fā)了適用于 半導體工業(yè)級應用的膜厚量測以及光學關(guān)鍵尺寸量測系統(tǒng)， 電鏡設(shè)備計劃于 2020 年投入市場。

8 華峰測控

北京華峰測控技術(shù)股份有限公司（簡稱華峰測控），作為國內(nèi)最早進 入半導體測試設(shè)備行業(yè)的企業(yè)之一，公司在行業(yè)內(nèi)深耕二十余年， 聚 焦于模擬和混合信號測試設(shè)備領(lǐng)域。

 公司憑借產(chǎn)品的高性能、易操作和服務優(yōu)勢等特點，在模擬及數(shù)模混 合測試設(shè)備領(lǐng)域打破了國外廠商的壟斷地位，在營收和品牌優(yōu)勢方面 均已達到了國內(nèi)領(lǐng)先水平。產(chǎn)品不但在中國境內(nèi)批量銷售還外銷至中 國臺灣、美國、歐洲、韓國、日本等境外半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)達地區(qū)，截至 目前，全球累計裝機量突破2,600臺。

9 萬業(yè)企業(yè)

公司成立于1991年，主營業(yè)務為房地產(chǎn)住宅類項目。 2018年12月收購離子注入機設(shè)備公司凱世通，積極 深化戰(zhàn)略轉(zhuǎn)型，切入半導體高端裝備賽道。凱世通主 營泛半導體中離子注入機及配套服務，是全球唯一一 家全領(lǐng)域離子注入設(shè)備公司，產(chǎn)品覆蓋光伏、集成電 路、AMOLED、IGBT等，目前公司在光伏離子注入 機全球市占率第一。

 目前實際控制人及第三大股東分別為上海浦東科投有 限公司和國家大基金，其中浦東科投在集成電路、醫(yī) 療健康等高科技產(chǎn)業(yè)有著多年的成功投資經(jīng)驗，疊加 國家大基金的政策和基金支持，將有助于公司順利轉(zhuǎn) 型，未來有望成為國產(chǎn)離子注入設(shè)備龍頭。

10 賽騰股份

賽騰股份成立于2007年的高新技術(shù)企業(yè)，深耕智能裝 備制造行業(yè)多年，處于智能制造產(chǎn)業(yè)鏈下游，主要提 供自動化組裝設(shè)備、自動化檢測設(shè)備和治具類產(chǎn)品。 目前公司產(chǎn)品常應用于消費電子行業(yè)，主要客戶有蘋 果、JOT公司、廣達集團、三星電子、緯創(chuàng)資通、英 華達集團等。公司于2011年通過蘋果供應商認證，并 為其提供自動化設(shè)備、治具類產(chǎn)品及相關(guān)技術(shù)服務。

2019年募集資金收購日本Optima株式會社75%的股權(quán)， 將公司產(chǎn)品線向高端半導體設(shè)備領(lǐng)域進一步延伸。前 五大客戶銷售額占比從2014年96.3%降低至2019年的 54.9%，大大降低對重要客戶的依賴程度，主要得益于 2018、2019 年公司積極收并購，客戶基礎(chǔ)和業(yè)績隨之 得到擴充。

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